集成電路作為微型電子器件或部件,對(duì)清洗用水的水質(zhì)要求很高。哪怕清洗用水中存在非常少量雜質(zhì),都可能產(chǎn)生水垢,進(jìn)而影響其電阻率,降低成品率。而超純水設(shè)備生產(chǎn)的超純水,電阻率可達(dá) 18 MΩ*cm (25℃),完全符合集成電路清洗用水的嚴(yán)格要求,在集成電路清洗領(lǐng)域展現(xiàn)出顯著優(yōu)勢(shì)。?
產(chǎn)水水質(zhì)高是超純水設(shè)備的一大突出優(yōu)勢(shì)。在制備過(guò)程中,采用超純水膜元件,在拋光段選用陶氏進(jìn)口拋光樹(shù)脂以及自主研發(fā)的除硼專用樹(shù)脂。這些先進(jìn)的材料和技術(shù),不僅保證了系統(tǒng)具備較高的回收率,還能有效提升系統(tǒng)的產(chǎn)水水質(zhì)。以某集成電路制造企業(yè)為例,在引入超純水設(shè)備后,產(chǎn)品的不良率顯著降低,成品率大幅提升,產(chǎn)品性能也得到了明顯優(yōu)化。?
占地面積小也是超純水設(shè)備的重要優(yōu)勢(shì)之一。專業(yè)的后期設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)會(huì)根據(jù)客戶現(xiàn)場(chǎng)的實(shí)際情況,精心設(shè)計(jì)設(shè)備的外形及擺放方式。通過(guò)提高設(shè)備的集成度,在充分考慮設(shè)備外形美觀的同時(shí),兼顧設(shè)備操作人員的操作舒適度,減少設(shè)備的占地面積。對(duì)于一些場(chǎng)地空間有限的企業(yè)來(lái)說(shuō),這一優(yōu)勢(shì)尤為關(guān)鍵,能有效降低企業(yè)的場(chǎng)地使用成本。?
超純水設(shè)備的運(yùn)行費(fèi)用較低。在保證設(shè)備產(chǎn)水水質(zhì)的前提下,通過(guò)采用先進(jìn)的超純水膜元件,降低設(shè)備的運(yùn)行壓力,提高系統(tǒng)回收率,從而降低運(yùn)行成本。膜元件為復(fù)合膜卷制而成,具有較高的溶質(zhì)分離率和透過(guò)率,能耗低、水利用率高。與傳統(tǒng)的水處理設(shè)備相比,超純水設(shè)備在長(zhǎng)期運(yùn)行過(guò)程中,能為企業(yè)節(jié)省大量的運(yùn)行資金。?
隨著集成電路行業(yè)的快速發(fā)展,對(duì)超純水的需求將持續(xù)增長(zhǎng)。超純水設(shè)備憑借其在產(chǎn)水水質(zhì)、占地面積和運(yùn)行費(fèi)用等方面的優(yōu)勢(shì),勢(shì)必會(huì)在集成電路領(lǐng)域得到更為廣泛的應(yīng)用,為集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供強(qiáng)有力的支持,推動(dòng)該行業(yè)不斷邁向新的高度。
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